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電子半導體行業酸堿廢氣治理方法

分類:行業資訊發布時間:2022-04-22

蘇(su)州(zhou)啟隆(long)環保工程有限公司一家致力于(yu)大氣(qi)(qi)污染防治的高新技術企業,可(ke)提供(gong)廢氣(qi)(qi)治理(li)方案、工程設(she)(she)計安(an)裝、非標設(she)(she)備(bei)定制,設(she)(she)備(bei)維護與保養等(deng)一體化(hua)服務。


主要聚(ju)焦(jiao)業務(wu)領(ling)域(yu):工(gong)(gong)業化工(gong)(gong)廢氣(qi)(qi)(qi)(qi)治理(li),實驗(yan)室廢氣(qi)(qi)(qi)(qi)治理(li),電鍍業廢氣(qi)(qi)(qi)(qi)治理(li),污(wu)水、垃圾臭氣(qi)(qi)(qi)(qi)類,噴漆(qi)印染VOCs廢氣(qi)(qi)(qi)(qi)等領(ling)域(yu)的廢氣(qi)(qi)(qi)(qi)治理(li)。



電(dian)子(zi)半(ban)(ban)導體行業酸堿性(xing)廢氣(qi)處(chu)理(li)(li)方法,推薦使用(yong)噴淋塔。這是因為半(ban)(ban)導體制(zhi)造中(zhong)產(chan)生的(de)酸性(xing)和堿性(xing)廢氣(qi)采用(yong)分別(bie)收集、分別(bie)處(chu)理(li)(li)的(de)方法,但(dan)處(chu)理(li)(li)設備和處(chu)理(li)(li)原理(li)(li)基本相同(tong)。


對于(yu)含有 酸性(xing)/堿性(xing)物質的廢(fei)氣,大都采用大型洗(xi)滌(di)式中(zhong)央(yang)(yang)廢(fei)氣處(chu)(chu)理(li)系(xi)統(tong)(tong)進行處(chu)(chu)理(li)。但是,有些情況下,由于(yu)半導(dao)體制造(zao)工(gong)作區域離中(zhong)央(yang)(yang)廢(fei)氣處(chu)(chu)理(li)系(xi)統(tong)(tong)距(ju)離較遠,因(yin)此部分酸性(xing)/堿性(xing)廢(fei)氣在(zai)輸送至中(zhong)央(yang)(yang)廢(fei)氣處(chu)(chu)理(li)系(xi)統(tong)(tong)前(qian),常因(yin)氣體特性(xing)導(dao)致在(zai)管路中(zhong)結晶或(huo)粉塵堆(dui)積,造(zao)成管路堵(du)塞后導(dao)致氣體外泄(xie),嚴重者甚至引發爆炸(zha),危害現場工(gong)作人員的工(gong)作安全。

因此,在工作區域需配置適合制程氣體特性的就地廢氣處理設備進(jin)行就地處理(li),之(zhi)后再排入(ru)中央(yang)處理(li)系統,而(er)一些特(te)殊的廢(fei)氣(qi),包(bao)括劇毒(du)、自燃、易爆等廢(fei)氣(qi)則需要先通過(guo)干式洗(xi)滌塔等設備(bei)通過(guo)吸(xi)附或氧化(hua)/燃燒(shao)等方法(fa)就地處理(li),之(zhi)后再排人中央(yang)廢(fei)氣(qi)處理(li)系統 。


蘇州啟隆環保工程(cheng)有限公司

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